首页 | 学院概况 | 学科建设 | 人才培养 | 招生信息 | 师资队伍 | 科学研究 | 教学研究 | 学生工作 | 党群工作 
 
当前位置: 首页>>学院概况>>学院概况>>正文
 
微电子材料与器件研究所
2016-06-01 11:34   审核人:

微电子材料与器件研究所

 

微电子材料与器件研究所是在原物理学院光电材料与器件研究所基础上建立的。1989年在原物理系半导体研究室的基础上成立了光电材料与器件研究所,光电材料与器件研究所建所以来,连续承担了“八五”、“九五”国家重点科技攻关项目、国家军工配套项目,国家自然科学基金项目以及教育部和山东省各类科研项目;取得科技成果奖励20多项,其中“30×30cm2 ITO透明导电膜”、“氧化物光电薄膜研究”、“电子工业替代ODS清洗剂及清洗技术研究”等为国家和省部级重要科技成果,建立起“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”。

经过“985”和“211”学科建设,微电子材料与器件研究所现有一流微细加工实验室,已具备材料生长、纳米器件工艺加工能力,2011年申请获批山东省微电子材料与器件省重点实验室。微电子材料与器件研究所科研主要设备包括:电子束曝光系统、紫外光刻机、MOCVD系统、PLD系统、电子束蒸发台、反应离子刻蚀、磁控溅射以及半导体材料与器件光电特性表征等设备。在强有力的硬件条件支撑下,微电子材料与器件研究所研究已融入微电子前沿主流的研究方向,研究内容包括:纳米电子和太赫兹器件、印刷电子、GaN电子器件和光电子器件、宽禁带半导体材料与器件、有机自旋半导体材料与器件、半导体存储器、薄膜太阳能电池等,本所的科学研究正朝着微电子主流研究方向大踏步迈进。

 

 

 

微电子材料与器件研究所基本信息:

 

1. 人员信息:

韩圣浩,宋爱民,马瑾,林兆军, 冀子武,王卿璞,宗福建,李玉香,计峰,王福勋,肖洪地,韩琳,庞智勇,蒋然,黄博达,辛倩,冯先进,栾彩娜,张锡健,孟令国,徐化勇,王一鸣,魏琳。

2. 科研信息:

研究方向:纳米电子和太赫兹器件、柔性薄膜电子器件、宽禁带半导体材料与器件、有机自旋半导体材料与器件、半导体存储器。

目前,承担国家自然科学基金项目11项,研究经费: 804万元;参与1项973项目和1项国家重大专项,承担多项省部级和横向课题研究项目;总研究经费超过1000万元。

每年发表SCI收录论文30多篇;授权多项发明专利。

3. 科研条件:

(1) 高端微细加工实验室

主要设备包括:电子束曝光,ICP干法刻蚀,电子束蒸发,紫外光刻机等。

(2) 材料生长设备

高真空MOCVD设备,激光脉冲沉积设备,磁控溅射设备,有机真空蒸发设备。

(3) 测试表征设备

高频器件特性测试系统(太赫兹测试系统,安捷伦公司),低温霍尔测试系统,半导体参数分析仪(安捷伦公司),高分辨扫描电镜,宽带隙材料光学测试系统。

 

 


 

        说明: IMG_0077

高端微细加工实验室,最小加工线宽10纳米,可开展纳米器件制备及器件高频特性测试。图中的设备是电子束曝光和扫描电子显微镜

 

 

              

高真空MOCVD设备

              说明: HHV Auto306 with FL400 box chamber

电子束蒸发设备

             说明: MJB4_Total_02

                    紫外光刻机

             

      说明: P5252333

宽带隙光学测试系统

 

 

               说明: 1

 

低温霍尔测试系统

 

 

 

 

关闭窗口