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学科平台
2016-06-08 06:20  

山东大学微电子学院拥有“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”等多个平台,这些平台既可开展薄膜材料生长、纳米器件工艺加工和测试等科研工作,又可承担大规模专用集成电路芯片设计与可编程片上系统等研究工作,实验平台体系完备。纳电子研究中心建设已投资4000多万,加工精度可达7nm,器件测试频率高达750 GHz(国内测试频率最高)。微电子学院现有的材料生长、器件工艺加工、材料和器件以及半导体芯片性能测试设备总值近5000万元。

 

国家电子元器件清洗技术研究推广中心

山东省高校微电子材料与器件重点实验室

山东省工程技术研究中心

山东大学纳电子工程研究中心

山东大学-联电集成电路人才实训中心

山东大学集成电路设计中心

山东大学-闪亮人工智能研究中心

 


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