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山东省高校微电子材料与器件重点实验室
2018-06-21 14:27   审核人:

微电子材料与器件重点实验室201010月申报获批山东省“十二五”高校重点实验室。“十二五”期间,微电子材料与器件重点实验室紧紧围绕本实验室的“十二五”建设计划任务书,全面开展各项工作并取得优异的成果。

本实验室包括5个主要的研究方向,分别为太赫兹纳米电子器件,宽禁带半导体材料,半导体器件与工艺,有机半导体材料与器件和低维材料与器件。在学术队伍方面,实验室现有固定工作人员25人;引进国家千人计划专家1名;具有教授职称的共13人,全部具有博士学位,11人具有国外学术背景;副教授7人,全部具有博士学位,6人具有国外学术背景。

微电子材料与器件重点实验室具有先进的半导体材料生长、器件微细加工和材料器件性能测试分析平台。主要设备包括:有机化学气相沉积设备、激光脉冲沉积系统、普通溅射镀膜、共溅射镀膜、场发射扫描电子显微镜、电子束曝光系统、ICP刻蚀系统、紫外光刻机和矢量网络分析仪、霍尔及磁电阻测量系统、半导体参数分析仪,光学测量系统、电子束蒸发镀膜机和光刻机等。利用这一平台可开展半导体薄膜材料生长、半导体器件和功能模块电路制备研究工作。

“十二五”期间,实验室承担国家级及省部级各类科研项目总计40项,科研经费共计1374.8万元,各级财政资金投入约1500万元,出版学术专著1部,发表SCI论文188篇、EI论文29篇,其中有1篇发表在国际著名专业期刊Nature Communication(自然通讯),10余篇论文发表在Applied Physics Letters,获得授权的发明专利17项。

目前,微电子材料与器件实验室又获批山东省“十三五”高校重点实验室建设,在“十二五”建设发展的基础上,结合新成立微电子学院的契机,微电子材料与器件重点实验室将重点发展已凸显优势的微电子主流的研究方向,进一步提升微电子材料与器件重点实验室的科学研究水平。


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