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陈毅坚
2017-06-27 14:46   审核人:

      陈毅坚博士现任北京大学(深圳)信息工程学院副教授,其研究领域聚焦于下一代三维晶体管的器件物理,集约模型,VLSI制程工艺,以及深纳米尺度的光刻与电子设计自动化(EDA)技术。陈博士毕业于加州大学伯克利分校,其博士课题探索了机电耦合阻尼条件下的MEMS器件动力学与控制,以及面向无掩模极紫外光刻技术(maskless EUV lithography)的微反射镜阵列的器件设计与工艺制程。陈博士研究生时期曾获Ross Tucker (AIME Electronics Materials) Award(2001年)和SRC Inventor Recognition Award (2004年)。  

    毕业后,陈博士在美国半导体产业界(主要是美光科技和应用材料公司)工作数年,曾获应用材料公司的优秀员工奖和多次优秀团队奖。陈博士2011年回国,在北大深圳研究生院任教,曾入选鹏城学者(2012至2014),并担任2016和2017年国家和浙江省自然科学基金的评议专家。其带领的科研团队在国际核心半导体期刊和会议上发表了一系列重要技术论文,对延续摩尔定律至10nm以下起重要作用,被国际半导体产业界(比如,ITRS路线图)广为关注。


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